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Title: Progetto e realizzazione di un dispositivo multistrato a film di diamante CVD
Other Titles: Project and development of a multi-layer CVD diamond
Authors: Tucciarone, Aldo
Scoccia, Marialba
Keywords: rivelatori di particelle alfa
diamanti CVD
cristallo singolo
catodoluminescenza
dispositivo multistrato
Issue Date: 5-Sep-2008
Abstract: L'obiettivo principale di questa trattazione è l'™introduzione di un dispositivo planare multistrato costituito di diamante monocristallino CVD, sviluppato presso il Laboratorio di Microsistemi di Tor Vergata. Questo si inserisce all'interno dello studio dei microsistemi e del diamante come semiconduttore effettuato lungamente dal Gruppo di Ricerca. Il punto di forza dei microsistemi è costituito dalla loro caratteristica principale, l'integrazione fra i diversi componenti della catena di trasduzione: nello stesso componente vengono realizzati con tecnologia IC (Integrated Circuit) sia i sensori che rivelano e misurano grandezze chimiche e fisiche, che gli elementi che permettono di trasformarle in segnale elettrico, che dove possibile, l'elettronica necessaria a processarlo. Oltre a ciò, le caratteristiche più rilevanti e vantaggiose della tecnologia dei microsistemi sono la funzionalità ed affidabilità, e il basso consumo energetico. Il materiale prevalentemente utilizz...
Description: 20. ciclo
URI: http://hdl.handle.net/2108/621
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