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Title: Development and characterization of extreme UV and soft X-ray Schottky diodes based on synthetic single crystal diamond for plasma diagnostic at the Joint European Torus (JET) tokamak
Authors: Tucciarone, Aldo
Milani, Enrico
Verona, Claudio
Keywords: microsistemi
diodi Schottky
diamante monocristallino
CVD
UV e soft-Xray
fotorivelatori
diagnostica di plasma
Issue Date: 6-Jul-2010
Abstract: Il continuo sviluppo nelle tecnologie microelettroniche e la loro integrazione con sistemi meccanici, ottici, chimici e biologici hanno fatto crescere, specialmente nell’ultimo ventennio, l’interesse nei Microsistemi. Lo sviluppo di nuovi materiali per la realizzazione di Microsistemi è una ricerca attuale ed importante in questo campo, poiché, l’utilizzo tradizionale del silicio come materiale base dei Microsistemi non è in grado di soddisfare tutte le loro possibili applicazioni, specialmente quelle in ambienti ostili come per esempio i sistemi di diagnostica nelle strutture a fusione. In particolare, il diamante sintetico è un importante materiale semiconduttore con rare ed estreme proprietà ottiche ed elettroniche, capace di operare in condizioni critiche. Inoltre, l’ampia gap da 5.5eV, l’alta conducibilità termica e resistività, l’elevata mobilità dei portatori di carica e la resistenza alle radiazioni dimostrano come il diamante sia un materiale ideale per la realizzazione di ...
Description: 22. ciclo
URI: http://hdl.handle.net/2108/1316
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