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Title: Studio e realizzazione di micro-dispositivi elettro-acustici a film sottile e loro applicazione nel campo dei sensori chimici di nuova generazione
Authors: Verona, Enrico
D'Amico, Arnaldo
Cannatà, Domenico
Keywords: TFBAR
sensori chimici
AlN
BAW
MEMS
Issue Date: 11-Sep-2009
Abstract: In questo lavoro si propone l'impiego di risonatori ad onde acustiche di volume per la realizzazione di sensori chimici a microbilancia, operanti a frequenze dell’ordine dei GHz, realizzati con le tecnologie dei film sottili; questo tipo di dispositivi sono detti risonatori ad onde acustiche di volume a film sottile (TFBAR - thin film bulk acoustic wave resonator). Questo approccio permette di ottenere dispositivi miniaturizzati, integrabili, con buone prestazioni ed a basso costo. Il film piezoelettrico utilizzato è il Nitruro di Alluminio (AlN), scelto per le sue buone caratteristiche acustiche ed l’ ottima compatibilità con i processi tecnologici. In una prima parte vengono esposti i principi fisici che sono alla base del fenomeno della propagazione acustica, dando particolare spazio ai mezzi di propagazione con caratteristiche piezoelettriche. Si arriva infine alla descrizione delle strutture risonanti mediante il circuito equivalente di Mason ed il modello di ButterworthVan Dike ...
Description: 21. ciclo
URI: http://hdl.handle.net/2108/1119
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